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半導體制造離不開(kāi)高精度測量和控制

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半導體是現代技術(shù)的重要組成部分,從智能手機、電腦到洗衣機,幾乎每一種電子設備都有半導體。它們的導電能力介于導體和絕緣體之間,半導體有一個(gè)重要的性質(zhì),如果在純凈的半導體物質(zhì)中適當地摻入微量雜質(zhì)其導電能力將會(huì )成百萬(wàn)倍地增加。例如,硅是最chang用的半導體材料,只要摻有0.0001%的硼,就可以將電導率提高一千倍。這種可操控性及其*的特性使半導體成為集成電路的關(guān)鍵組成部分,這在大多數電子系統中是如此。

 

著(zhù)名的摩爾定律揭示集成電路上可以容納的晶體管數目在大約每2年便會(huì )增加一倍。雖然隨著(zhù)國際半導體的技術(shù)發(fā)展路線(xiàn)圖的更新,這一趨勢現在開(kāi)始放緩,摩爾定律逐漸失效,但它仍然是半導體行業(yè)快速增長(cháng)和發(fā)展的強大驅動(dòng)力。

 

半導體工藝的液體控制

高精du的流量測量和控制是許多半導體制造技術(shù)的關(guān)鍵??评飱W利質(zhì)量流量計和控制器是小流量液體應用的理想選擇,因具有多種優(yōu)點(diǎn),使其成為半導體工藝的理想選擇。

 

在本文中,我們將簡(jiǎn)要討論半導體行業(yè)并講述科里奧利質(zhì)量流量控制技術(shù)的作用。

 

半導體制造涉及大量的加工技術(shù)。對于集成電路芯片,將一個(gè)圓柱形的晶錠切成薄片,進(jìn)行清洗和拋光,然后再進(jìn)行各種加法和減法處理步驟。其中一個(gè)關(guān)鍵步驟,是半導體工業(yè)中應用最為廣泛的一種叫做化學(xué)氣相沉積(CVD)的技術(shù)。

 CVD 

/化學(xué)氣相沉積/

 

化學(xué)氣相沉積法是傳統的制備薄膜的技術(shù),指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應合成涂層或納米材料的方法,是半導體工業(yè)中應用最為廣泛的用來(lái)沉積多種材料的技術(shù)。在集成電路的制造過(guò)程中,襯底通常為硅片。CVD能夠創(chuàng )造高阻隔膜,非常適用于具有復雜幾何形狀的集成電路。

這個(gè)過(guò)程可以簡(jiǎn)單地用幾個(gè)步驟來(lái)描述:

 

-襯底(在這種情況下是硅片)被裝入真空室。

-使用質(zhì)量流量控制器將qian qu物精que地從儲罐流向汽化區域。

-通過(guò)增加熱量和/或降低壓力而汽化xian驅物。

-氣態(tài)的前驅物進(jìn)入真空室,并反應形成聚合物沉積在基材表面。

-所有揮發(fā)性的副產(chǎn)物通過(guò)腔室橫向氣流排出。

科里奧利流量控制器在CVD中的作用:

 

CVD是高精du過(guò)程,制備薄膜過(guò)程主要包含三個(gè)重要的影響因素:襯底、前驅物和生長(cháng)條件。前驅物和生長(cháng)條件都離不開(kāi)精que的流量控制,ALICAT低流量、耐高壓、不受流體成分約束的科里奧利高精du控制技術(shù)是控制液體前驅物的理想選擇??评飱W利的工作原理確保了無(wú)論流體性質(zhì)和成分如何,能精que測量流量,這意味著(zhù)即使液體前驅物發(fā)生變化,也無(wú)需重新校準。精確度不受溫度和壓力變化而產(chǎn)生影響。此外,減少必要的年度校準意味著(zhù)停機時(shí)間少和長(cháng)期擁有成本少。并且,科里奧利儀表不光可用于控制液體,還可以用于氣體。

 ALD 

/原子層沉積/

 

上述優(yōu)點(diǎn)使科里奧利流量控制器也成為其他半導體制造工藝的有吸引力的選擇。例如,原子層沉積(ALD)同樣有需要精que控制液體前驅物的過(guò)程。

 

半導體制造的另一個(gè)關(guān)鍵過(guò)程是在將圓柱形晶錠采用機械刀片進(jìn)行切割,切成一片一片的圓盤(pán)狀,便成了晶圓。切割后需對其進(jìn)行清洗,一種新的晶圓清洗方法是使用超臨界CO2,它具有特殊的特性,可以有效清潔深溝槽和去除殘留物。超臨界CO2既不是液體也不是氣體,而科里奧利流量計非常適合這一工藝流程。

Alicat CODA系列科里奧利儀表抗干擾性強,對周邊的振動(dòng)和干擾不敏感,這點(diǎn)更是為半導體先進(jìn)過(guò)程控制的高要求提供了有力保障。

 

有趣的事實(shí): CVD作為一種非常有效的材料表而改性方法,在很多領(lǐng)域得到應用,它提高了材料的使用壽命,節省了大量的材料,為社會(huì )帶來(lái)了顯著(zhù)的經(jīng)濟效益。CVD涂層不僅用于半導體行業(yè),例如,它也被用于制造薯片包裝袋,將鋁沉積在聚丙烯層上。巧合的是,Alicat科里奧利流量?jì)x表對薯片的生產(chǎn)并不陌生,因為它也被用于調味工藝生產(chǎn)過(guò)程中。

Alicat艾里卡特CODA科里奧利系列有多種型號可供選擇,并且可提供定制服務(wù),請即刻與我們聯(lián)系推薦適合您的CVD、ALD、超臨界CO2或其他工藝的流量計量和控制解決方案!

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